[发明专利]接口转换装置及测试半导体设备中低通滤波器性能的方法在审
| 申请号： | 202210737336.0 | 申请日： | 2022-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN115128308A | 公开（公告）日： | 2022-09-30 |
| 发明（设计）人： | 赵长江;慕晓航;任攀;王凯 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04;G01R31/00 |
| 代理公司： | 北京思创毕升专利事务所 11218 | 代理人： | 廉莉莉 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种接口转换装置及测试半导体设备中低通滤波器性能的方法。该装置包括：输入转接件，输入转接件包括第一接头、第二接头以及连接第一接头和第二接头的第一射频电缆，第一接头为N型同轴公头或母头，第二接头为SMPW‑K型非同轴公头或母头，第一接头用于与第一测试接口连接，第二接头用于与射频输入接口连接；输出转接件，输入转接件包括第三接头、第四接头以及连接第三接头和第四接头的第二射频电缆，三接口为N型同轴公头或母头，第四接头为SMPW‑K型非同轴公头或母头，第三接头用于与第二测试接口连接，第四接头用于与射频输出接口或第二接头连接。本发明可提高对低通滤波器的测试效率，并提高测试数据的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 接口 转换 装置 测试 半导体设备 中低通 滤波器 性能 方法 | ||
【主权项】：
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