[发明专利]流量控制装置及流量控制方法在审
申请号: | 202210729110.6 | 申请日: | 2022-06-24 |
公开(公告)号: | CN115933761A | 公开(公告)日: | 2023-04-07 |
发明(设计)人: | 严明焕;孙相睍;金宰弘 | 申请(专利权)人: | 细美事有限公司 |
主分类号: | G05D7/06 | 分类号: | G05D7/06 |
代理公司: | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人: | 王达佐;王艳春 |
地址: | 韩国忠*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供了可靠性提高的流量控制装置。所述流量控制装置包括:流量测量部,用于测量药液供应线内的药液的流量;流量控制部,用于比较预设的目标流量曲线和应用流量曲线,并控制所述药液的流量以使所述应用流量曲线与所述目标流量曲线一致;以及处理器,用于响应于与由所述流量测量部测量的所述药液的流量相关的信号小于预设的水平,将所述流量控制部切换到第一模式,其中,在所述第一模式中,所述应用流量曲线包括利用由所述流量测量部测量的所述药液的流量来模拟的流量估计模型的曲线。 | ||
搜索关键词: | 流量 控制 装置 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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