[发明专利]一种晶圆打标装置及打标方法在审
| 申请号： | 202210725226.2 | 申请日： | 2022-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN115070217A | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 无锡光导精密科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/70 |
| 代理公司： | 苏州衡创知识产权代理事务所(普通合伙) 32329 | 代理人： | 王睿 |
| 地址： | 214028 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种晶圆打标装置及打标方法，所述装置包括：激光器，用于发射脉冲激光；振镜，位于所述脉冲激光的光发射路径上，用于将所述脉冲激光偏转到晶圆表面预设的第一字符坐标位置；声光偏转系统，位于所述激光器和所述振镜之间的光发射路径上，用于根据声光信号控制所述脉冲激光的偏转，以在所述第一字符坐标位置进行字符打标。通过本申请，可以利用振镜偏转实现字符定位，利用声光偏转系统在字符坐标位置进行小范围内的图形打标，从而可以在保证打标质量的前提下，大幅提高打标效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆打标 装置 方法 | ||
【主权项】：
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