[发明专利]一种La-Hf合金靶材及其制备方法在审
申请号: | 202210723095.4 | 申请日: | 2022-06-24 |
公开(公告)号: | CN115029599A | 公开(公告)日: | 2022-09-09 |
发明(设计)人: | 黄金龙;鲁晓超 | 申请(专利权)人: | 江西中锡金属材料有限公司 |
主分类号: | C22C28/00 | 分类号: | C22C28/00;C22C1/03;C23C14/34 |
代理公司: | 深圳市洪荒之力专利代理有限公司 44541 | 代理人: | 庄露露 |
地址: | 341400 *** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本发明公开了一种La‑Hf合金靶材及其制备方法,涉及合金靶材制备技术领域,合金成分的质量百分比含量为:La为10%‑50%,Hf为余量;La‑Hf合金靶材的制备方法,包括以下步骤:La‑Mg合金铸锭、金属Hf的计算、称重;放入炼炉设备中,抽真空,随后充入氩气;升温,进行电磁搅拌,使得La‑Mg合金中的所有镁元素完全挥发;冷却,浇铸到铸铁模具中,制备获得La‑Hf合金靶;La‑Mg合金铸锭中Mg的重量百分比为30‑60%,余量为La;解决了传统熔炼方法得到的合金靶容易出现分层的现象,制备得到的La‑Hf合金靶成分均匀,含氧量低,在不降低生产效率的情况下,有效提升了产品的质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 la hf 合金 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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