[发明专利]蒸发镀膜装置和镀膜方法在审
| 申请号： | 202210718683.9 | 申请日： | 2022-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN115058691A | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 吕凯丽;赵利;孙军旗;孙帅;任宏志 | 申请（专利权）人： | 北海惠科半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 44240 | 代理人： | 邢涛 |
| 地址： | 536000 广西壮族自治区北海市工业园区北*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种蒸发镀膜装置和镀膜方法，蒸发镀膜装置包括蒸镀腔体、蒸镀源、多个蒸镀锅和驱动组件；蒸镀源用于将蒸镀材料转化为气体分子蒸镀材料，气体分子蒸镀材料在蒸镀腔体中运动形成蒸镀区域；多个蒸镀锅对应设置在蒸镀区域内；驱动组件设置在蒸镀腔体的顶部，驱动多个蒸镀锅围绕蒸镀源的中心线进行旋转；蒸镀锅包括蒸镀面，蒸镀面上设有晶圆，所述晶圆与蒸镀面形成的夹角大于等于10度，且小于等于25度。本申请通过将晶圆倾斜设置在蒸锅面上，并与蒸镀面形成一定角度的夹角，减少晶圆占用空间，如此在原来的蒸镀锅上可以放置更多的晶圆，从而提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 镀膜 装置 方法 | ||
【主权项】：
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