[发明专利]一种高效转化的太赫兹探测器及制备方法在审
| 申请号： | 202210716336.2 | 申请日： | 2022-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN115274844A | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 刘志宏;唐从威;樊雨佳;陈淑莹;危虎;周瑾;冯欣;杨伟涛;段小玲;张进成;郝跃 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学广州研究院;西安电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L29/778 | 分类号： | H01L29/778;H01L21/335 |
| 代理公司： | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人： | 刘长春 |
| 地址： | 510000 广东省广州市黄*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种高效转化的太赫兹探测器及制备方法，太赫兹探测器包括：衬底层、复合缓冲层、沟道层、势垒层、栅电极、源电极和漏电极，其中，衬底层的背面呈凸起状以对从背面入射的太赫兹波进行聚焦；复合缓冲层、沟道层、势垒层依次层叠于衬底层的上表面；栅电极、源电极、漏电极均位于势垒层上，且栅电极位于源电极和漏电极之间。本发明实施例在太赫兹探测器里面将衬底层设置为凸起状用来聚焦太赫兹波，从而提高探测器接受背面入射太赫兹波的效率，提高了太赫兹探测器各项指标，整体上提高了该太赫兹探测器的探测信号的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高效 转化 赫兹 探测器 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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