[发明专利]一种多频微波激发等离子体系统在审
| 申请号： | 202210698727.6 | 申请日： | 2022-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN115003000A | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 乐卫平;黎小平;代兵;黄永镇;陈旺寿;郭蕾 | 申请（专利权）人： | 深圳市恒运昌真空技术有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京惟盛达知识产权代理事务所(普通合伙) 11855 | 代理人： | 陈钊 |
| 地址： | 518100 广东省深圳市宝安区西乡街道铁*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种多频微波激发等离子体系统，通过具有不同的微波输出参数的固态发生器通过微波传输系统耦合进入微波谐振腔体；微波谐振腔体按照第一空间布局方式执行多个固态发生器在不同方向上的耦合进入，以符合最佳的等离子体激发和维持条件；控制器耦合到所述微波谐振腔体和至少一个固态发生器，用于根据微波谐振腔体和固态发生器的工作状态控制固态发生器的微波输出参数，从而改变微波谐振腔体中的等离子体参数。通过集成不同频率、不同功率的固态发生器，通过优化配置方式，获得微波激发等离子体系统，实现大面积、高均匀性、高密度的等离子体，实现材料表面改性处理及晶体材料的可控高质量生长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微波 激发 等离子体 系统 | ||
【主权项】：
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