[发明专利]一种多频微波激发等离子体系统

权利要求书

1.一种多频微波激发等离子体系统，其特征在于，所述系统包括多个固态发生器、微波传输系统、微波谐振腔体和控制器：

多个固态发生器的每个所述固态发生器具有不同的微波输出参数，每个固态发生器通过微波传输系统耦合进入微波谐振腔体；

所述微波谐振腔体按照第一空间布局方式执行多个固态发生器在不同方向上的耦合进入，以符合最佳的等离子体激发和维持条件，所述第一空间布局方式包括谐振腔的尺寸、结构和固态发生器进入的位置和角度；

控制器耦合到所述微波谐振腔体和至少一个固态发生器，用于根据微波谐振腔体和固态发生器的工作状态控制固态发生器的微波输出参数，从而改变微波谐振腔体中的等离子体参数。

2.根据权利要求1所述的多频微波激发等离子体系统，其特征在于，

所述微波输出参数包括频率、功率和相位中的至少一个。

3.根据权利要求2所述的多频微波激发等离子体系统，其特征在于，所述微波传输系统包括：同轴电缆、隔离器、同轴到波导的过渡部件和波导，固态发生器通过同轴电缆和隔离器连接到同轴到波导的过渡部件。

4.根据权利要求3所述的多频微波激发等离子体系统，其特征在于，

根据所述微波谐振腔体激发的等离子体参数，生成第一反馈信号，将所述第一反馈信号发送至控制器；

对所述波导进行检测得到第二反馈信号，将所述第二反馈信号发送至控制器；

控制器根据所述第一反馈信号和第二反馈信号生成第一控制信号，并发送至多个固态发生器，以使得多个固态发生器进行动态最优的微波输出参数调节。

5.根据权利要求4所述的多频微波激发等离子体系统，其特征在于，所述第一反馈信号包括等离子体强度分布；所述第二反馈信号包括频率和功率。

6.根据权利要求5所述的多频微波激发等离子体系统，其特征在于，所述系统还包括微波放大器和微波合成器，所述微波放大器与多个固态发生器耦合连接，用于放大固态发生器产生的微波信号；所述微波合成器用于接收多个放大的微波信号并将其组合成单个的合成微波信号，将所述合成微波信号发送至微波谐振腔体。

7.根据权利要求6所述的多频微波激发等离子体系统，其特征在于，所述控制器还用于根据所述第一反馈信号和第二反馈信号生成第二控制信号，控制固态发生器与微波放大器的连接或断开，以改变组合的微波信号的数量。

8.根据权利要求7所述的多频微波激发等离子体系统，其特征在于，所述控制器将所述第一反馈信号、第二反馈信号输入预先训练得到的参数调节模型，得到带有优先级排序的多个参数调节方案，所述参数调节方案包括微波输出参数和组合的微波信号的数量；

从所述多个参数调节方案中选择满足限制条件且优先级最高的参数调节方案，生成第一控制信号和第二控制信号，所述限制条件是基于实际工况设置的；

其中，所述参数调节模型是以微波谐振腔体中的等离子体参数最优为目标预先训练得到的。