[发明专利]一种具有研磨一致性终点检测窗的抛光垫及其应用在审
| 申请号： | 202210696735.7 | 申请日： | 2022-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN115056137A | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 谢毓;王凯 | 申请（专利权）人： | 万华化学集团电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/20 | 分类号： | B24B37/20;B24B37/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 264006 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有研磨一致性终点检测窗的抛光垫及其应用，所述抛光垫包括具有抛光表面的抛光层，所述抛光层表面设有终点检测窗和三种不同形式的沟槽结构，其中，第一沟槽为抛光层表面的同心圆形圆周向沟槽；第二沟槽为围绕窗口周围的闭环状沟槽；第三沟槽为分布在终点检测窗与第二沟槽之间的不连续性沟槽。本发明的抛光垫能够避免抛光过程中由于检测窗所造成的研磨不一致性，极大降低划伤和非均匀比率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 研磨 一致性 终点 检测 抛光 及其 应用 | ||
【主权项】：
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