[发明专利]一种环柱微同轴射频传输线及其制作方法在审
| 申请号： | 202210696096.4 | 申请日： | 2022-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN114976565A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 赵心然;王刚;庞影影;夏晨辉;吉勇 | 申请（专利权）人： | 无锡中微高科电子有限公司 |
| 主分类号： | H01P11/00 | 分类号： | H01P11/00;H01P3/06 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 | 代理人： | 陈丽丽;殷红梅 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及集成电路封装技术领域，具体公开了一种环柱微同轴射频传输线的制作方法，其中，包括：提供硅晶圆基底；在所述硅晶圆基底上依次制作第一层波导线层、微同轴层和第二层波导线层，其中所述微同轴层包括至少一层微同轴结构，多层微同轴结构之间沿垂直于所述第一层波导线层的方向贯通，每层微同轴结构均包括圆柱形信号线和环绕所述圆柱形信号线设置的环柱形地线，与所述第一层波导线层以及所述第二层波导线层相邻的所述微同轴结构中的环柱形地线上设置开口。本发明还公开了一种环柱微同轴射频传输线。本发明提供的环柱微同轴射频传输线的制作方法能够降低射频信号传输的插入损耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 环柱微 同轴 射频 传输线 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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