[发明专利]镀层测厚仪的平面XY微动装置在审
| 申请号： | 202210693080.8 | 申请日： | 2022-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN115015306A | 公开（公告）日： | 2022-09-06 |
| 发明（设计）人： | 张操操;邵波;姚伟杏 | 申请（专利权）人： | 西凡仪器（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/2204 | 分类号： | G01N23/2204;G01N23/223;G01B15/02 |
| 代理公司： | 深圳市中智立信知识产权代理有限公司 44427 | 代理人： | 刘英玉 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种镀层测厚仪的平面XY微动装置，包括：样品承载台、滑台上座、滑台中座和滑台底座，所述滑台中座在X方向与所述滑台底座滑动连接，所述滑台上座在Y方向上与所述滑台中座滑动连接；所述滑台底座的一侧设置有X轴传动定位座，所述滑台中座的一侧设置有X轴丝杆螺母座，所述样品承载台安装在所述滑台上座上，其能使X射线荧光光谱镀层检测仪实现被检微小件样品位置的精确定位，提高检测效率。本发明中的平面XY微动机械装置可方便的安装在镀层测厚仪上，在关上仪器防护盖后可调整待检物品位置，保证待检物品位置可控性的同时保护操作安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 镀层 测厚仪 平面 xy 微动 装置 | ||
【主权项】：
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