[发明专利]一种用于氧化制程的气体混合装置及处理设备在审
| 申请号： | 202210690522.3 | 申请日： | 2022-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN115193277A | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 潘德烈 | 申请（专利权）人： | 深圳市德明利光电有限公司 |
| 主分类号： | B01F23/10 | 分类号： | B01F23/10;B01F35/21;B01F35/83;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 崔熠 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市福田区福保*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种用于氧化制程的气体混合装置及处理设备，涉及半导体制造技术领域，包括气体混合器、设置有第一MFC和第二MFC的第一管道、设置有第三MFC的第二管道和设置有压力控制器的第三管道，气体混合器通过第一管道与处理腔室连接，第二管道与第一管道的连接处位于第一MFC和第二MFC之间，第三管道与第一管道的连接处位于第二MFC与处理腔室之间；第一预设比例的混合气体在第一MFC控制下与第一组成气体在第三MFC控制下混合形成第二预设比例的处理气体，一部分处理气体在压力控制器分流下经第三管道排出、另一部分处理气体在第二MFC控制下流向处理腔室。气体混合装置能够在混合气体通入处理腔室前对混合比例和流动速率进行调控。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 氧化 气体 混合 装置 处理 设备 | ||
【主权项】：
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