[发明专利]一种基于骨架结构的亚分辨率散射条生成方法有效

专利信息
申请号: 202210689105.7 申请日: 2022-06-16
公开(公告)号: CN114967370B 公开(公告)日: 2023-08-11
发明(设计)人: 杜杳隽;黄晔;陈红;董蒙;王义 申请(专利权)人: 深圳国微福芯技术有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 代理人: 王金刚
地址: 518000 广东省深圳市福田区福保街道福*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种基于骨架结构的亚分辨率散射条生成方法,其包括:根据SBAR规则表插入初始SBAR骨架;检测任意两个相邻初始SBAR骨架之间的距离,并对距离小于截止距离的两个初始SBAR骨架进行冲突处理得到亚SBAR骨架;对所述亚SBAR骨架和未进行冲突处理的初始SBAR骨架进行生长处理,使所述亚SBAR骨架和未进行冲突处理的初始SBAR骨架生长至期望大小;完成SBAR骨架的设置。与现有技术相比,本发明可以使SBAR的冲突问题解决变得简单,节省了大量的计算资源。
搜索关键词: 一种 基于 骨架 结构 分辨率 散射 生成 方法
【主权项】:
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