[发明专利]PVD和CVD设备中Loadlock传动机构及其控制方法在审
| 申请号： | 202210678347.6 | 申请日： | 2022-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN115076323A | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 禅明;吴金马;李靖;臧宇;王金 | 申请（专利权）人： | 盛吉盛半导体科技（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | F16H37/12 | 分类号： | F16H37/12;H02K7/06;H02K7/10;C23C14/00;C23C16/00;G05D3/12 |
| 代理公司： | 池州优佐知识产权代理事务所(普通合伙) 34198 | 代理人： | 刘尔才 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了PVD和CVD设备中Loadlock传动机构及其控制方法，涉及Loadlock传动以及控制技术领域，针对原有的步进电机通过同步轮连接丝杠传动结构，步进电机控制器的控制方法存在传动机构传动刚性差，传动机构定位精度和重复定位精度不准确的问题，现提出如下方案，其包括Loadlock腔体，所述Loadlock腔体的下方设置有Loadlock传动机构。本发明采用丝杆和直线导轨为一体的模组形式，整体的传动刚性更好，相比于原有机构可靠性更高；通过绝对值编码器与控制伺服电机和直线栅尺传感器随时反馈位置信号把整个传动控制做成了一个闭环，控制精度更高。 | ||
| 搜索关键词： | pvd cvd 设备 loadlock 传动 机构 及其 控制 方法 | ||
【主权项】：
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