[发明专利]一种蓝宝石晶棒切割前晶向测量装置及其测量方法在审
| 申请号： | 202210674439.7 | 申请日： | 2022-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN115143908A | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 左洪波;杨鑫宏;于凌志;孟繁志;丁广博;王元博 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨秋冠光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/00 | 分类号： | G01B21/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150001 黑龙江*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种蓝宝石晶棒切割前晶向测量装置。它包括机台线网切角角度确认装置和晶棒端面偏分测量装置两个部分。本发明可以通过对切割前晶棒与线网之间的角度判定和晶棒自身晶向测量，预估下料晶片晶向，同时可以在机台上按照计算值调整晶棒与线网待切割角度，从而实现下料晶片更高的晶向集中性。实现完成切割后下料的晶片在测试c向偏m向晶向测量数值的稳定和均一，提高产品竞争力，需要一种能够使晶向粘接操作细节更完善，能够将切割下料晶片晶向控制在更小的波动范围内。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 切割 测量 装置 及其 测量方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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