[发明专利]一种光束光斑位移放大测量系统及测量方法

摘要

本发明提出了一种光束光斑位移放大测量系统及测量方法，聚焦的待测光束被放置在聚焦焦点附近的光阑部分遮挡；被光阑部分遮挡的待测光束入射到位置敏感光电探测器的感光面上，形成缺损光斑；待测光束若发生空间位置变化导致光阑遮挡处的光束光斑产生与被遮挡方向平行的位移d，位置敏感光电探测器的感光面上将产生放大的光斑缺损变化量D=dL2/L1，输出的光斑位移放大L2/L1倍，L1为光阑与聚焦焦点在光线行进方向上的距离；L2为PSD与聚焦焦点在光线行进方向上的距离。本发明使位置敏感光电探测器上光斑能量重心位置变化获得与光斑尺寸变化相同倍数的放大，可大幅提高光束光斑位移测量灵敏度，结构简单灵活，便于不同应用集成整合，且成本低。