[发明专利]显示面板、显示装置、三维微结构器件及其制备方法在审
申请号: | 202210673143.3 | 申请日: | 2022-06-14 |
公开(公告)号: | CN115072653A | 公开(公告)日: | 2022-09-20 |
发明(设计)人: | 周超;史迎利;梁魁 | 申请(专利权)人: | 北京京东方技术开发有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | B81C1/00 | 分类号: | B81C1/00;B81B7/02 |
代理公司: | 北京众达德权知识产权代理有限公司 11570 | 代理人: | 查薇 |
地址: | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种显示面板、显示装置、三维微结构器件及其制备方法;制备方法包括:制备功能层、薄膜执行器和器件层,所述薄膜执行器位于所述功能层和所述器件层之间;执行设定工艺使所述薄膜执行器膨胀,以使所述功能层远离所述器件层;在所述功能层远离所述器件层的状态下,加工所述器件层或所述功能层,以制备所述三维微结构器件。上述方法能够提高三维微机械结构的工艺精度,保证了三维微结构器件的产品性能和良品率。 | ||
搜索关键词: | 显示 面板 显示装置 三维 微结构 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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