[发明专利]一种吸附-精馏-光反应联合生产高纯度四氯化硅的方法在审
| 申请号： | 202210671518.2 | 申请日： | 2022-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN114906852A | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 李群生 | 申请（专利权）人： | 北京化工大学 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 杨倩 |
| 地址： | 100020 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于高纯化学品技术领域，具体公开了一种吸附‑精馏‑光反应联合生产高纯度四氯化硅的方法，本发明采用来源不同的四氯化硅为原料，通过吸附装置将原料中的硼、磷以及碳氢键、氢氧键等微量杂质除去，再使用精馏的方式进行分离提纯，精馏系统具体包括脱轻塔、脱重塔和机动塔，将三氯氢硅、三氯化硼、氯化氢和氢气等轻组分杂质以及高沸物等重组分杂质除去，利用光化反应来辅助分离过程，通入氯气将极少量的三氯氢硅反应为四氯化硅和氯化氢。本发明具有能耗低、路线短、产品纯度高、质量好等优点，得到用于半导体产业链的高纯度四氯化硅。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 吸附 精馏 光反应 联合 生产 纯度 氯化 方法 | ||
【主权项】：
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