[发明专利]一种结合倾斜照明的高分辨率波前检测方法在审
| 申请号： | 202210668716.3 | 申请日： | 2022-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN115014546A | 公开（公告）日： | 2022-09-06 |
| 发明（设计）人： | 白剑;赵磊;李月佳 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01J9/00 | 分类号： | G01J9/00;G06T11/00 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 彭剑 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种结合倾斜照明的高分辨率波前检测方法，采用波前检测装置，波前检测装置包括沿光路出射方向设置的LED板、准直透镜、待测平板、会聚透镜和图像传感器，图像传感器固定在精密导轨上，且图像传感器位于会聚透镜的离焦位置处。本发明利用不同角度倾斜照明待测样品，依次采集衍射光斑，利用相位恢复算法实现高分辨率高精度的光频谱面的拼接，并进一步利用带负反馈调节的相位恢复算法实现高分辨率的波前重建。本发明提出的方法可实现高分辨率的波前高精度高鲁棒性的精确重建。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 结合 倾斜 照明 高分辨率 检测 方法 | ||
【主权项】：
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