[发明专利]一种双通道正交式干涉仪动镜控制系统在审
| 申请号： | 202210647358.8 | 申请日： | 2022-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN115144354A | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 路向宁;黄旻;韩炜;钱路路;王占超 | 申请（专利权）人： | 中国科学院空天信息创新研究院 |
| 主分类号： | G01N21/35 | 分类号： | G01N21/35;G01N21/01;G01J3/28;G01J3/02 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人： | 郑立明;陈亮 |
| 地址： | 100080 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种双通道正交式干涉仪动镜控制系统，双通道干涉仪用于在入光口和出光口处获取强度、相位一致的两路激光干涉信号；相移单元用于将双通道干涉仪获取的两路激光干涉信号处理为正交关系；干涉脉冲处理单元用于对相互正交的两路信号通过异或运算进行倍频处理；零位检测单元用于检测动镜的移动原点；音圈电机安装在所述双通道干涉仪中动镜支承框架摆臂K的外端，用于驱动动镜进行匀速摆动；DSP电机控制及驱动单元根据预先设置的动镜速度及位移来控制所述音圈电机，驱动动镜在一定区间内进行匀速摆动。上述系统内部构造简单，可根据需要连续调整干涉仪动镜的运动行程，在设定位移内进行匀速运动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双通道 正交 干涉仪 控制系统 | ||
【主权项】：
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