[发明专利]用于传感器设备的微机械构件和用于传感器设备的微机械构件的制造方法在审
| 申请号： | 202210646991.5 | 申请日： | 2022-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN115448247A | 公开（公告）日： | 2022-12-09 |
| 发明（设计）人： | H·韦伯;P·施莫尔格鲁贝尔 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81B7/02;B81C1/00;G01L1/14 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 郭毅 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于传感器设备的微机械构件，其具有衬底、至少一个第一对应电极、至少一个第一电极和电容器密封结构，至少一个第一电极以能够调整的方式布置在所述至少一个第一对应电极的背离衬底的侧上，电容器密封结构气密地密封内部体积，内部体积具有存在于其中的至少一个第一对应电极和存在于其中的至少一个第一电极，其中，至少一个第一对应电极直接地或者间接地紧固在框架结构上，框架结构直接地或者间接地紧固在所述衬底上，并且至少一个第一对应电极至少部分地如此跨越所述空腔，使得能够通过至少一个开口在空腔与内部体积之间传输至少一种气体，开口构造在所述至少一个第一对应电极上和/或构造在至少一个第一对应电极中。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 传感器 设备 微机 构件 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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