[发明专利]用于硅谐振压力传感器的自适应闭环反馈控制系统及方法有效
| 申请号： | 202210637646.5 | 申请日： | 2022-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN114726363B | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 胡宗达;梁应剑;张林;张坤;赵鑫;李明兴 | 申请（专利权）人： | 成都凯天电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H03L3/00 | 分类号： | H03L3/00;H03L1/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于硅谐振压力传感器的自适应闭环反馈控制系统及方法，属于MEMS压力传感器技术领域。该系统包括V/F转换电路、与所述V/F转换电路连接的硅谐振压力芯体、与所述硅谐振压力芯体连接的C/V电路、分别与所述C/V电路连接的自适应反馈控制模块和微分器以及与所述微分器连接的AGC电路，所述AGC电路与所述自适应反馈控制模块连接。本发明通过自适应反馈控制，满足驱动端信号和检测端信号‑90°的相位差特性，保证其不受外界环境温度的影响，满足移相抗干扰的能力，保证硅谐振压力传感器始终工作在谐振状态，减小了因外界环境影响造成频率漂移或幅值波动带来的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 谐振 压力传感器 自适应 闭环 反馈 控制系统 方法 | ||
【主权项】：
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