[发明专利]一种硅片研磨料浆循环装置在审
| 申请号： | 202210630676.3 | 申请日： | 2022-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN114917797A | 公开（公告）日： | 2022-08-19 |
| 发明（设计）人： | 文东辉;徐浩哲;黄笑容;吴晓峰;程美娇 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学;浙江中晶科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B01F27/90 | 分类号： | B01F27/90;B01F23/80;B01F23/70;B01D36/02;B01D33/48;B01D33/04;B24B57/00;B24B57/02 |
| 代理公司： | 浙江千克知识产权代理有限公司 33246 | 代理人： | 冷红梅 |
| 地址： | 310000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明属于硅片磨削加工技术领域，具体涉及一种硅片研磨料浆循环装置，包括：粗过滤器，用于对硅片研磨料浆进行粗过滤；料浆收集桶，用于收集经过粗过滤的硅片研磨料浆；皮带式过滤机构，用于对料浆收集桶内的硅片研磨料浆进行精过滤；料浆输出桶，用于收集经过精过滤的硅片研磨料浆；其中，料浆输出桶具有料浆输出口，用于输出硅片研磨料浆以对硅片进行研磨加工。本发明的硅片研磨料浆循环装置，将过滤环节分解为粗过滤与精过滤两道工序，其中，精过滤环节设计的皮带式过滤机构，使得过滤网通过皮带式的转动进行循环，不停更新进行过滤的滤孔，减少堵塞的问题发生。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 研磨 循环 装置 | ||
【主权项】：
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