[发明专利]一种液体压力测量与污染监测的微型传感器及其制作方法在审
| 申请号： | 202210630170.2 | 申请日： | 2022-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN115235534A | 公开（公告）日： | 2022-10-25 |
| 发明（设计）人： | 李携曦;喻彬璐;李静 | 申请（专利权）人： | 南方科技大学 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 张永盛 |
| 地址： | 518055 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种液体压力测量与污染监测的微型传感器及其制作方法，微型传感器包括：印制电路板；氮化镓光芯片，所述氮化镓光芯片设置在所述印制电路板上，用于发射光信号以及将光信号转换为光电流信号，并在光信号发生变化时输出相应的光电流信号；高分子薄膜，所述高分子薄膜设置在所述氮化镓光芯片上方，并与所述氮化镓光芯片形成一密闭腔体；其中，所述高分子薄膜的表面在受力时会产生变形。本发明中可实现对液体压力的检测以及实时监测液体介质是否受到污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 液体 压力 测量 污染监测 微型 传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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