[发明专利]一种基于谐振腔共振效应的氢气传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202210628656.2 | 申请日： | 2022-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN115201280A | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 毕胜;王尧;韩旭 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 辽宁鸿文知识产权代理有限公司 21102 | 代理人： | 许明章;王海波 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于气体传感器技术领域，涉及一种新型氢气传感器及其制备方法，具体涉及一种基于谐振腔共振效应的氢气传感器及其制备方法。所述氢气传感器，包括衬底、下部导电层、介电层、上部导电层和氢气敏感阵列；下部导电层位于衬底上表面，氢气敏感阵列生长在下部导电层上表面，介电层位于下部导电层上表面且位于氢气敏感阵列之间且呈条纹状分布，上部导电层位于介电层上表面；氢气敏感阵列上金属元素。本发明能够实现室温下可见光频段的氢气浓度检测，并且可在不同温度下直接进行检测，受外部电磁、热源干扰小、可重复使用率高。其制备工艺简单、体积小、易于集成、成本低廉，且制作过程无污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 谐振腔 共振 效应 氢气 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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