[发明专利]一种基于双波段探测的双轴光谱线共焦传感器在审
| 申请号： | 202210627768.6 | 申请日： | 2022-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN115307569A | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 王伟波;魏泷;邢华明;邓楠;谭久彬 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明设计了一种基于双波段探测的双轴光谱线共焦传感器，属于三维面型测量技术领域。本发明包括：光源组件，用于提供系统测量所需的光辐射；照明组件，用于将照明光整形并使不同波长均匀聚焦在测量面上不同轴向位置；探测组件，用于收集反射光并提供与照明组件共轭的光路，滤除离焦波长；光谱解调组件，用于分离两个照明波段并分别记录两个波段包含被测样品表面轮廓信息的能量谱。本发明结合线性渐变滤光片和分波段探测技术，解决了色散系统与光谱解调系统结构复杂和光谱解调系统光谱范围与光谱分辨率矛盾的问题，实现了大量程、高轴向分辨力的光谱线共焦传感。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 波段 探测 光谱线 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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