[发明专利]提升曝光扫描精度的脉冲补偿方法及其模块在审
| 申请号： | 202210623957.6 | 申请日： | 2022-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN115327858A | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 蔡文涛;闫小猛;龙洪秋 | 申请（专利权）人： | 深圳市鑫浩自动化技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京盛凡佳华专利代理事务所(普通合伙) 11947 | 代理人： | 赵浩淼 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及提升曝光扫描精度的脉冲补偿方法及其模块，属于线路曝光的PCB技术领域。包括激光头、扫描轴、主机、平台控制器、控制模块、同步模块等组成。所述扫描轴通过标定获取到线性误差，以脉冲数的形式存储到控制模块中。所述控制模块获得平台控制器发出的光栅尺脉冲，通过查表得到真实脉冲数，并建立累计误差补偿，以确保位置精度。控制模块根据不同激光头的位置计算出对应口打开和关闭的使能脉冲数，使得同步模块准确输出脉冲到各个激光头，确保各个激光头曝光图形的位置正确。 | ||
| 搜索关键词： | 提升 曝光 扫描 精度 脉冲 补偿 方法 及其 模块 | ||
【主权项】：
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