[发明专利]蒸发镀膜装置在审
| 申请号： | 202210607488.9 | 申请日： | 2022-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN115011930A | 公开（公告）日： | 2022-09-06 |
| 发明（设计）人： | 吕凯丽;赵利;孙军旗;孙帅;刘孝玲;任宏志 | 申请（专利权）人： | 北海惠科半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 44240 | 代理人： | 邢涛 |
| 地址： | 536000 广西壮族自治区北海市工业园区北*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种蒸发镀膜装置，蒸发镀膜装置包括蒸镀腔体、蒸镀源、多个蒸镀锅和驱动组件；蒸镀源用于将蒸镀材料转化为气体分子蒸镀材料，气体分子蒸镀材料在蒸镀腔体中运动形成蒸镀区域；多个蒸镀锅对应设置在蒸镀区域内；驱动组件设置在蒸镀腔体的顶部，驱动多个蒸镀锅围绕蒸镀源的中心线进行旋转；多个蒸镀锅包括第一蒸镀锅和第二蒸镀锅，第二蒸镀锅的直径小于第一蒸镀锅的直径，第二蒸镀锅设置在两个第一蒸镀锅相互靠近的一端和两个第一蒸镀锅相互远离的一端之间的间隙内。本申请在一个蒸镀腔室内设置不同大小的蒸镀锅，能够更好的利用空间，防止蒸镀源材料的浪费，且同腔体可以生产不同批次的晶圆，提供生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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