[发明专利]一种屈臂式混联驱动型薄膜掠射角溅射平台有效
| 申请号： | 202210597856.6 | 申请日： | 2022-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN114959611B | 公开（公告）日： | 2023-07-25 |
| 发明（设计）人： | 王伟;郑旭飞;桓茜 | 申请（专利权）人： | 陕西工业职业技术学院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/50;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京东方盛凡知识产权代理有限公司 11562 | 代理人： | 李彬 |
| 地址： | 712000 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种屈臂式混联驱动型薄膜掠射角溅射平台，涉及真空溅射镀膜技术领域。本发明包括固定外壳、固定外壳上侧装设有传动塔，传动塔上转动配合有实验盘组件，传动塔内装设有与实验盘组件相对应的屈臂控制组件；传动塔的下侧装设有位于固定外壳内的传动机构，固定外壳内壁周侧装设有与传动塔相对应的多个公转驱动机构、多个自转驱动机构。本发明能通过屈臂控制组件、公转驱动机构与自转驱动机构的配合下，使实验盘组件在传动塔上的中心传动远点处进行自转以及0‑90°的摇摆，使其具有多种旋转自由度，满足工件表面的掠射角连续溅射工艺的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 屈臂式混联 驱动 薄膜 掠射角 溅射 平台 | ||
【主权项】：
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