[发明专利]一种屈臂式混联驱动型薄膜掠射角溅射平台

权利要求书

1.一种屈臂式混联驱动型薄膜掠射角溅射平台，其特征在于，包括：固定外壳(1)、固定外壳(1)上侧装设有传动塔(2)，传动塔(2)上转动配合有实验盘组件(3)，传动塔(2)内装设有与实验盘组件(3)相对应的屈臂控制组件(4)；

传动塔(2)的下侧装设有位于固定外壳(1)内的传动机构(5)，固定外壳(1)内壁周侧装设有与传动塔(2)相对应的多个公转驱动机构(6)、多个自转驱动机构(7)、一个碟刹装置(8)、一个动作控制机构(9)；

实验盘组件(3)包括摇摆托盘(301)，摇摆托盘(301)的两侧装设有耳轴(302)，摇摆托盘(301)的上侧装设有衬垫(303)，衬垫(303)上装设有加热盘(304)，加热盘(304)上装设有实验载物盘(305)，耳轴(302)上装设有滚子轴承(310)；

摇摆托盘(301)的下侧装设有调整桶(306)，调整桶(306)的周侧套接有两个固定轴承(307)，调整桶(306)周侧套接有第一固定套(308)，第一固定套(308)位于两个固定轴承(307)之间，其一固定轴承(307)下侧装设有自转传动齿轮(309)；

实验载物盘(305)下侧设有调整凸起(311)，调整桶(306)上侧设有与调整凸起(311)相对应的槽口，摇摆托盘(301)、加热盘(304)与衬垫(303)中部均设有与调整桶(306)对应的通孔，调整桶(306)与实验载物盘(305)之间装设有偏移量调整弹簧(312)，实验载物盘(305)上设有位于偏移量调整弹簧(312)中部且与调整桶306螺纹配合的调整螺钉(313)；

传动塔(2)包括两个相互对应的支撑架(201)，两个支撑架(201)呈Y型结构，且两个支撑架(201)的相对面均开设有与滚子轴承(310)对应的半圆形卡槽，两个支撑架(201)的周侧由上至下依次套接有一个公转齿轮(202)、碟刹盘(203)、导电滑环(204)；

屈臂控制组件(4)包括第一传动框(401)、第二传动框(406)，第一传动框(401)的内壁一侧装设有第一关节传动齿轮(402)，第一传动框(401)的一侧装设有助力板(403)，第一传动框(401)内转动配合有传动臂(404)，传动臂(404)的内部装设有传动齿轮柱(405)，传动臂(404)内装设有第二传动框(406)，传动臂(404)的一端与第一关节传动齿轮(402)转动配合，传动臂(404)的另一端转动配合有第二关节传动齿轮(416)，传动齿轮柱(405)的两端分别与第一关节传动齿轮(402)、第二关节传动齿轮(416)啮合，第二关节传动齿轮(416)转动配合在第二传动框(406)内壁的一侧，且第二传动框(406)内转动配合有转杆(407)，转杆(407)与第二关节传动齿轮(416)相互啮合。

2.如权利要求1所述的一种屈臂式混联驱动型薄膜掠射角溅射平台，其特征在于，转杆(407)周侧装设有固定架(409)，固定架(409)与转杆(407)组合成中字型状，固定架(409)包括套接在转杆(407)上的头部紧固架(410)、底部紧固架(411)，头部紧固架(410)与底部紧固架(411)之间装设有两个框轴(412)，两个框轴(412)与转杆(407)上装设有一个自转齿轮(413)。

3.如权利要求2所述的一种屈臂式混联驱动型薄膜掠射角溅射平台，其特征在于，传动臂(404)内装设有助力推杆(414)，助力推杆(414)与助力板(403)相对应，支撑架(201)的一侧装设有助力弹簧(415)，助力弹簧(415)与第一传动框(401)相对应。

4.如权利要求3所述的一种屈臂式混联驱动型薄膜掠射角溅射平台，其特征在于，公转驱动机构(6)包括公转机构外壳(601)，公转机构外壳(601)内装设有第一驱动电机(602)，第一驱动电机(602)的输出端周侧由下至上依次装设有第一离合器(603)、第一驱动齿轮(604)、第一电磁制动器(605)，公转机构外壳(601)的一侧开设有与第一驱动齿轮(604)相对应的第一啮合口(606)，公转机构外壳(601)的一侧开设有让位槽(607)，第一驱动齿轮(604)通过第一啮合口(606)与公转齿轮(202)相互啮合，让位槽(607)与碟刹盘(203)相互对应。