[发明专利]一种平行臂式三自由协同驱动型薄膜掠射角溅射平台有效
| 申请号： | 202210597844.3 | 申请日： | 2022-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN114959610B | 公开（公告）日： | 2023-08-22 |
| 发明（设计）人： | 王伟;郑旭飞;桓茜;范江;胡平 | 申请（专利权）人： | 陕西工业职业技术学院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/50;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京东方盛凡知识产权代理有限公司 11562 | 代理人： | 李彬 |
| 地址： | 712000 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开一种平行臂式三自由协同驱动型薄膜掠射角溅射平台，包括外壳；外壳内安装有公转驱动组件及中央动作结构组件；中央动作结构组件包括工作台，传动塔，自转传动组件及公转传动组件；自转传动组件安装于框体内，公转传动组件安装于框体外周壁，传动塔安装于框体顶部；框体置于外壳内腔中部。本发明在保证系统可靠性、易维护性以及一定系统冗余程度的前提下，实现了载物实验盘在传动塔上端中枢传动轴为原点作自转、摇摆、公转三个自由度的独立、协同、连续、自动化控制，能够满足新要求下高新材料镀膜溅射实验所需性能指标。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平行 臂式三 自由 协同 驱动 薄膜 掠射角 溅射 平台 | ||
【主权项】：
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