[发明专利]一种平行臂式三自由协同驱动型薄膜掠射角溅射平台

权利要求书

1.一种平行臂式三自由协同驱动型薄膜掠射角溅射平台，其特征在于，包括：外壳（1）；所述外壳内安装有公转驱动组件及中央动作结构组件；

所述中央动作结构组件包括工作台（2），传动塔（3），自转传动组件及公转传动组件；所述工作台（2）与所述传动塔（3）传动连接实现所述工作台（2）的翻转；所述传动塔（3）与所述自转传动组件传动连接，实现所述工作台（2）的自转；所述公转驱动组件与所述公转传动组件传动连接，实现所述工作台（2）的公转；

所述自转传动组件安装于框体（4）内，所述公转传动组件安装于所述框体（4）外周壁，所述传动塔（3）安装于所述框体（4）顶部；所述框体（4）置于所述外壳（1）内腔中部；所述工作台（2）包括中枢传动机构（21）、试验台架（22）和加热盘（23）；所述试验台架（22）上方安装有所述加热盘（23），所述试验台架（22）底部通过所述中枢传动机构（21）与所述传动塔（3）顶部传动连接；所述传动塔（3）包括连杆（31），连接杆头（32），传动塔连杆稳定臂（34）和塔体（35）；所述塔体（35）顶部安装有所述中枢传动机构（21）；所述连杆（31）设置于所述塔体（35）一侧，所述连杆（31）两端均安装有所述连接杆头（32）；所述连杆（31）一端通过所述连接杆头（32）与所述中枢传动机构（21）传动连接；所述连杆（31）另一端与摇摆控制结构传动连接；所述塔体（35）中部安装有所述传动塔连杆稳定臂（34）；所述传动塔连杆稳定臂（34）还安装于所述连杆（31）侧壁；所述传动塔连杆稳定臂（34）与所述塔体（35）侧壁形成的限位凹台（36）配合安装；所述摇摆控制结构安装于所述框体（4）内；所述摇摆控制结构包括蜗轮蜗杆减速电机（81），摇摆控制齿轮（82），摇摆控制盘（83）及肩部连杆稳定臂（84）；所述肩部连杆稳定臂（84）与所述连杆（31）一端通过所述连接杆头（32）传动连接；所述肩部连杆稳定臂（84）上开设有活动槽，所述活动槽内滑动设置有所述摇摆控制盘（83）的一端，所述摇摆控制盘（83）与所述摇摆控制齿轮（82）同轴连接，且所述摇摆控制齿轮（82）与所述蜗轮蜗杆减速电机（81）输出端安装的减速电机驱动齿轮（85）相啮合。

2.根据权利要求1所述的一种平行臂式三自由协同驱动型薄膜掠射角溅射平台，其特征在于：所述公转传动组件包括径向支撑架，导电滑环（52），电磁制动器（53）和轴向传动组（51）；所述轴向传动组（51）设置有两组且分别与所述公转驱动组件传动连接；所述轴向传动组（51）安装于所述径向支撑架上；

所述电磁制动器（53）置于框体（4）底部，且电磁制动器（53）传动连接有公转制动轴（54）的一端；所述公转制动轴（54）另一端伸入所述框体（4）底部，且固定安装在所述框体（4）内；所述公转制动轴（54）上还安装有所述导电滑环（52）。

3.根据权利要求2所述的一种平行臂式三自由协同驱动型薄膜掠射角溅射平台，其特征在于：所述轴向传动组（51）包括承力盘（55），公转齿轮（56）及推力球轴承；所述承力盘（55）固定安装在所述框体（4）外壁，所述公转齿轮（56）固定安装在所述承力盘（55）底部，所述推力球轴承安装在所述公转齿轮（56）另一侧。

4.根据权利要求2所述的一种平行臂式三自由协同驱动型薄膜掠射角溅射平台，其特征在于：所述径向支撑架包括肩部固定架（57），腰部固定架（58），底部固定架（59）及稳定架；所述腰部固定架（58）和底部固定架（59）固定安装在所述框体（4）上，且设置于所述稳定架两侧，所述肩部固定架（57）与所述腰部固定架（58）内安装有一组所述轴向传动组（51）；所述底部固定架（59）下方安装有一组所述轴向传动组（51）。

5.根据权利要求4所述的一种平行臂式三自由协同驱动型薄膜掠射角溅射平台，其特征在于：所述稳定架包括径向保持盘（510），托盘（511）和深沟球轴承（512）；所述径向保持盘（510）固定安装于所述框体（4）中部，所述径向保持盘（510）外圈安装有所述深沟球轴承（512）；所述托盘（511）与所述底部固定架（59）对所述轴向传动组（51）限位。