[发明专利]一种加热器和单晶炉在审
申请号: | 202210588892.6 | 申请日: | 2022-05-26 |
公开(公告)号: | CN114875478A | 公开(公告)日: | 2022-08-09 |
发明(设计)人: | 杨文武 | 申请(专利权)人: | 西安奕斯伟材料科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14;C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 冯宇潮 |
地址: | 710000 陕西省西安市*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明提供一种加热器和单晶炉。所述加热器包括加热本体;所述加热本体呈碗状且底部具有开口;所述加热本体在周向上划分为第一加热区和第二加热区,第一加热区包括第一主加热区,第二加热区包括第二主加热区,第一主加热区和第二主加热区位于加热本体的轴向的不同高度。本发明实施例中,通过将加热本体的形状设置为与坩埚外形相适配的碗状,并且第一加热区包括的第一主加热区和第二加热区包括的第二主加热区位于加热本体的轴向的不同高度,即呈现出不对称性,从而有利于晶棒中心的轴向温度差与晶棒边缘的轴向温度差的差值变小,有利于无缺陷晶棒的生长,同时控制氧含量的有效析出,提高晶棒轴向和径向的氧含量均一性。 | ||
搜索关键词: | 一种 加热器 单晶炉 | ||
【主权项】:
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