[发明专利]NiV合金靶材的微结构与性能分析方法、装置及电子设备在审
| 申请号： | 202210584078.7 | 申请日： | 2022-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN114965535A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 袁永文;黄超;袁启伟 | 申请（专利权）人： | 睿宁高新技术材料(赣州)有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/223 | 分类号： | G01N23/223;G01N23/2208 |
| 代理公司： | 南昌逸辰知识产权代理事务所(普通合伙) 36145 | 代理人： | 刘晓敏 |
| 地址： | 江西省赣州市开*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种NiV合金靶材的微结构与性能分析方法、装置及电子设备，包括：基于高分辨电学显微镜确定NiV合金靶材中晶粒的尺寸，根据NiV合金靶材中晶粒尺寸，对NiV合金靶材进行粗晶区和细晶区划分；根据各晶区的晶粒尺寸确定射线荧光光谱分析扫描该晶区的形式窗口，基于形式窗口，对各晶区施加射线荧光得到荧光分析值，将荧光分析值与标准荧光值进行比对得到射线荧光光谱，根据射线荧光光谱确定各晶区中钒的含量以及NiV合金靶材的溅射速率；根据各晶区中NiV合金靶材的溅射速率和靶材刻蚀槽外的方向极图确定各晶区靶材的织构；根据各晶区靶材的织构，对各晶区靶材进行对比分析得到针对各晶区靶材的微结构与性能分析结果。 | ||
| 搜索关键词： | niv 合金 微结构 性能 分析 方法 装置 电子设备 | ||
【主权项】：
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