[发明专利]一种UTG化学强化工艺在审
| 申请号： | 202210582266.6 | 申请日： | 2022-05-26 |
| 公开（公告）号： | CN114873927A | 公开（公告）日： | 2022-08-09 |
| 发明（设计）人： | 张迅;易伟华;杨会良;周俊敏;谢凯立;徐艳勇 | 申请（专利权）人： | 江西沃格光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00;C03C21/00;C03B25/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 付丽 |
| 地址： | 338004 江西省新余*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种UTG化学强化工艺，包括以下步骤：A)将待化学强化的UTG材料浸入HF溶液中，进行双面蚀刻；所述HF溶液的浓度为1～4mol/L；所述双面刻蚀的时间为10～20min；B)清洗去除UTG表面的残酸，然后预热至360～390℃；C)将预热后的UTG浸入强化液中，进行化学强化；D)将化学强化后的UTG进行退火和泡水，得到强化后的UTG。本发明通过钢化前蚀刻和钢化后蚀刻的工艺组合，将UTG产品表观不良率从90％降低至10％以下，同时不良程度大幅降低，初步满足试产需求，同时本发明中的工艺提升了化学强化制程在产品厚度方面的加工极限能力，可加工产品厚度最薄可低至0.03mm。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 utg 化学 强化 工艺 | ||
【主权项】：
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