[发明专利]场发射扫描电镜观测介形类壳体特征的制样及观测方法在审

专利信息
申请号: 202210577979.3 申请日: 2022-05-24
公开(公告)号: CN114878613A 公开(公告)日: 2022-08-09
发明(设计)人: 韩春梅;樊启顺;都永生 申请(专利权)人: 中国科学院青海盐湖研究所
主分类号: G01N23/2202 分类号: G01N23/2202;G01N23/2251
代理公司: 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 代理人: 王锋
地址: 810000*** 国省代码: 青海;63
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摘要: 发明公开了一种场发射扫描电镜观测介形类壳体特征的制样及观测方法。所述方法包括:在实体显微镜下,利用纤维集束体沾取介形类壳体样品,移放至粘贴在电镜样品台上的导电粘性材料上,所述纤维集束体由润湿液润湿;利用纤维集束体调整所述介形类壳体样品的角度;利用所述纤维集束体向所述介形类壳体样品施加作用于所述导电粘性材料表面的压力。本发明提供的制样及观测方法可以做到对样品中典型介形类的壳体挑选及全貌的观测,避免了传统方法中导电粘性材料‑银胶对壳体形貌的遮挡,可清晰观测到介形类壳体形貌及内饰特征,进而可以更准确的判定物种类别;克服了场发射扫描电镜在扫描材料方面的局限性,有利于科学研究的顺利进行。
搜索关键词: 发射 扫描电镜 观测 介形类 壳体 特征 方法
【主权项】:
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