[发明专利]一种用于晶圆键合的气液增压系统的工作方法在审
| 申请号： | 202210575426.4 | 申请日： | 2022-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN114962365A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 唐宏波;陈洪;刘晓蕾;李建飞 | 申请（专利权）人： | 西北电子装备技术研究所（中国电子科技集团公司第二研究所） |
| 主分类号： | F15B11/16 | 分类号： | F15B11/16;F15B1/26;F15B15/14;F15B21/041;F15B21/02 |
| 代理公司： | 山西华炬律师事务所 14106 | 代理人： | 陈奇 |
| 地址： | 030024 山西*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于晶圆键合的气液增压系统的工作方法，解决了如何采用气液增压系统来满足晶圆键合的较宽范围输出力要求的技术难题；将作动器与液压增压缸分体式设计；将作动器设计为即可气动又可液动的两用式：在输出低压段压力时，用气源直接驱动作动器动作；在输出高压段压力时，增压液压缸杠杆相连，气体通过活塞由杠杆推动液压缸活塞运动，使液压缸中的液压压力比气压高若干倍，实现增压，增压后再驱动作动器输出高压力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 晶圆键合 增压 系统 工作 方法 | ||
【主权项】：
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