[发明专利]基于太赫兹的多层膜厚测量方法及可读存储介质在审
| 申请号： | 202210566605.1 | 申请日： | 2022-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN114964014A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 张逸竹;曲秋红;何明霞 | 申请（专利权）人： | 天津大学四川创新研究院;莱仪特太赫兹（天津）科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京天下创新知识产权代理事务所(普通合伙) 16044 | 代理人： | 任崇 |
| 地址： | 610000 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于太赫兹的多层膜厚测量方法及可读存储介质，属于镀膜厚度检测的技术领域，解决了现有技术在对较薄的多层镀膜进行测厚时存在运算速度较慢、测量效率较低的问题。一种基于太赫兹的多层膜厚测量方法，包括：获取数据的时域信号；调整窗滤波器的窗范围，得到最优窗滤波器；利用最优窗滤波器对数据的时域信号进行窗滤波，得到滤波后的时域信号；对滤波后的时域信号进行傅里叶变换，得到数据的频谱信号；判断最优窗滤波器是否移动到时域信号结束位置；若否，则最优窗滤波器移动到下一个驻点位置，返回利用最优窗滤波器对数据的时域信号进行窗滤波，得到滤波后的时域信号的步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 赫兹 多层 测量方法 可读 存储 介质 | ||
【主权项】：
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