[发明专利]基于太赫兹的多层膜厚测量方法及可读存储介质在审
申请号: | 202210566605.1 | 申请日: | 2022-05-23 |
公开(公告)号: | CN114964014A | 公开(公告)日: | 2022-08-30 |
发明(设计)人: | 张逸竹;曲秋红;何明霞 | 申请(专利权)人: | 天津大学四川创新研究院;莱仪特太赫兹(天津)科技有限公司 |
主分类号: | G01B11/06 | 分类号: | G01B11/06 |
代理公司: | 北京天下创新知识产权代理事务所(普通合伙) 16044 | 代理人: | 任崇 |
地址: | 610000 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 赫兹 多层 测量方法 可读 存储 介质 | ||
本发明提供了一种基于太赫兹的多层膜厚测量方法及可读存储介质,属于镀膜厚度检测的技术领域,解决了现有技术在对较薄的多层镀膜进行测厚时存在运算速度较慢、测量效率较低的问题。一种基于太赫兹的多层膜厚测量方法,包括:获取数据的时域信号;调整窗滤波器的窗范围,得到最优窗滤波器;利用最优窗滤波器对数据的时域信号进行窗滤波,得到滤波后的时域信号;对滤波后的时域信号进行傅里叶变换,得到数据的频谱信号;判断最优窗滤波器是否移动到时域信号结束位置;若否,则最优窗滤波器移动到下一个驻点位置,返回利用最优窗滤波器对数据的时域信号进行窗滤波,得到滤波后的时域信号的步骤。
技术领域
本发明涉及镀膜厚度检测技术领域,尤其是涉及一种基于太赫兹的多层膜厚测量方法及可读存储介质。
背景技术
镀膜是汽车、船舶、航空制造等行业必不可少的工艺步骤。在涂装生产过程中,油漆系统一般是包括底漆、中涂、色漆、清漆的多层结构,喷涂过程繁琐,监测工艺复杂。镀膜厚度是涂装质量最重要的控制因素之一,会直接影响到产品的防腐、防锈、美观等性能。随着涂装技术和现代工业的快速发展,工业化程度不断提高,涂层质量的控制有着更高的要求和更多的需求。传统涂层测厚技术有磁感应测厚法、涡流测厚法、超声测厚法、射线测厚法等。传统涂层测厚技术在实际应用中存在着一些缺陷,例如具有辐射性、无法识别多涂层的单层厚度、非接触式无法识别涂层缺陷、不能实时快速在线检测等。太赫兹测厚度技术能够完成非接触式的无损检测,对人体安全无辐射,相比于传统涂层测厚技术具有明显优势。
目前,在太赫兹测厚度技术中对于独立脉冲信号明显的膜层采用时域上的观测,通过飞行时间差原理计算样品厚度。但测量膜层厚度较薄的产品时,往往无法分辨出独立的脉冲信号,并且对于多层镀膜,且每层镀膜厚度都较薄的情况下,更是难以进行准确判断脉冲间隔,需要借助复杂的迭代算法,运算速度较慢,进而导致测量困难,测量效率较低。
因此,现有技术在对较薄的多层镀膜进行测厚时存在运算速度较慢、测量效率较低的问题。
发明内容
本发明的目的在于提供基于太赫兹的多层膜厚测量方法及可读存储介质,以缓解现有技术在对较薄的多层镀膜进行测厚时存在运算速度较慢、测量效率较低的技术问题。
第一方面,本发明提供的一种基于太赫兹的多层膜厚测量方法,包括:
获取数据的时域信号;
调整窗滤波器的窗范围,得到最优窗滤波器;
利用最优窗滤波器对数据的时域信号进行窗滤波,得到滤波后的时域信号;
对滤波后的时域信号进行傅里叶变换,得到数据的频谱信号;
判断最优窗滤波器是否移动到时域信号结束位置;
若否,则最优窗滤波器移动到下一个驻点位置,返回利用最优窗滤波器对数据的时域信号进行窗滤波,得到滤波后的时域信号的步骤;
若是,则生成数据的频谱信号集合;
根据数据的频谱信号集合生成频谱集合强度图;
根据频谱集合强度图,得到目标层频域间隔;
根据目标层频域间隔计算目标层厚度值;
删除滤波后的时域信号中的首个脉冲,得到数据的时域信号;
重复以上步骤,直到获得预设个数的目标层厚度值,输出预设个数的目标层厚度值。
进一步的,获取数据的时域信号的步骤之前,还包括:
设置目标层厚度值的个数为N=0;
所述根据目标层频域间隔计算目标层厚度值的步骤之后,还包括:
目标层厚度值的个数N=N+1;
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