[发明专利]一种薄膜体声波谐振器在审
| 申请号： | 202210563047.3 | 申请日： | 2022-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN114826191A | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 王雅馨;蔡耀;刘炎;孙成亮;孙博文 | 申请（专利权）人： | 武汉敏声新技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 曹瑞敏 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种薄膜体声波谐振器，涉及微电子技术领域。该薄膜体声波谐振器包括衬底，以及在衬底上层叠设置的底电极、压电层和顶电极，所述顶电极包括位于有效谐振区的第一顶电极，以及位于所述第一顶电极外圈的第二顶电极，和/或，所述底电极包括位于所述有效谐振区的第一底电极，以及位于所述第一底电极外圈的第二底电极，其中，所述第一顶电极和所述第二顶电极的声阻抗不同，所述第一底电极和所述第二底电极的声阻抗不同。该薄膜体声波谐振器能够抑制横向波的泄露，增大Q值，进而提升薄膜体声波谐振器的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 声波 谐振器 | ||
【主权项】：
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