[发明专利]一种压电陶瓷驱动式变形反射镜及其制造方法有效
| 申请号： | 202210561132.6 | 申请日： | 2022-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN114815224B | 公开（公告）日： | 2023-06-30 |
| 发明（设计）人： | 樊新龙;张小军;官春林;牟进博;周虹;龙国云;魏凯;李新阳;鲜浩;饶长辉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B5/08 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 邓治平 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种压电陶瓷驱动式变形反射镜及其制造方法，针对现有变形反射镜存在的驱动器规模扩展困难、可靠性降低及面形高阶误差增大等问题，提出一种驱动器规模可扩展、可靠性高、高阶误差小的压电陶瓷驱动式变形反射镜及其制造方法。该变形反射镜主要由整体式镜面(1)、模块化压电陶瓷驱动器阵列(2)、高刚度底座(3)、电学连接模块(4)和机械外壳(5)构成的以机械外壳为连接机构、高刚度底座(3)为位置参考、模块化压电陶瓷驱动器阵列(2)为驱动机构、整体式镜面(1)为反射面的波前校正器。基于本发明完成由整体式镜面、线阵驱动单元模块拼接式驱动器阵列为核心的压电陶瓷驱动式变形反射镜研制，表明本发明具有满足未来先进自适应光学系统需求的能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压电 陶瓷 驱动 变形 反射 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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