[发明专利]一种压电陶瓷驱动式变形反射镜及其制造方法

权利要求书

1.一种压电陶瓷驱动式变形反射镜，其特征在于：该压电陶瓷驱动式变形反射镜是由整体式镜面(1)、模块化压电陶瓷驱动器阵列(2)、高刚度底座(3)、电学连接模块(4)和机械外壳(5)构成的,以机械外壳(5)为连接机构、高刚度底座(3)为位置参考、模块化压电陶瓷驱动器阵列(2)为驱动机构、整体式镜面(1)为反射面的波前校正器；

整体式镜面(1)为双层光学玻璃-金属复合结构，其中光学玻璃层(6)为平板结构，下表面与金属复合层平板(7)键合；

整体式镜面(1)金属复合层是由整块金属材料加工而成的异型机构，由金属复合层平板(7)、金属复合层阵列极头(8)和金属复合层连接结构(9)构成，其中金属复合层平板(7)上表面与光学玻璃层(6)下表面键合，为光学玻璃层(6)提供支撑，金属复合层连接结构(9)与模块化压电陶瓷驱动器阵列(2)顶面键合；

高刚度底座(3)采用与整体式镜面(1)热膨胀系数匹配的材料制造；高刚度底座(3)具有与驱动器阵列排布相匹配的模块化压电陶瓷驱动器阵列电连接器穿针孔(18)阵列，实现变形反射镜底部出线；

模块化压电陶瓷驱动器阵列(2)由线阵驱动器模块拼接构成；

线阵驱动器模块由梳状压电陶瓷片(10)、压电陶瓷驱动器线阵间隔片(11)、压电陶瓷驱动器支撑板(12)和压电陶瓷驱动器电连接器(13)构成横向压电叠堆结构；所述的梳状压电陶瓷片(10)内电极通过底部引线方式，穿过压电陶瓷驱动器支撑板(12)，由压电陶瓷驱动器电连接器(13)引出；所述的压电陶瓷驱动器电连接器(13)为标准连接件；所述的压电陶瓷驱动器线阵间隔片(11)厚度根据前道工序组装后整体厚度修磨，保证线阵驱动器模块厚度一致。

2.基于权利要求1所述的压电陶瓷驱动式变形反射镜，其特征在于：整体式镜面(1)的光学玻璃层(6)顶面抛光并镀膜，是变形反射镜光学反射面。

3.基于权利要求1所述的压电陶瓷驱动式变形反射镜，其特征在于：整体式镜面(1)金属复合层所采用材料与光学玻璃层(6)热膨胀系数匹配。

4.基于权利要求1所述的压电陶瓷驱动式变形反射镜，其特征在于：电学连接模块(4)由阵列电极转换板(19)、变形反射镜内部连接电缆(21)和标准电连接器(22)构成，其中阵列电极转换板(19)上表面具有与驱动器针状接口阵列互补的阵列电极插孔(20)阵列；所述阵列电极插孔(20)阵列与压电陶瓷驱动器电连接器(13)阵列对插连接。

5.基于权利要求1所述的压电陶瓷驱动式变形反射镜，其特征在于：机械外壳(5)与变形反射镜主装配体(25)组装，对其提供电学、机械接口与保护。