[发明专利]数字散斑干涉微变形测量双模式装置在审
申请号: | 202210560072.6 | 申请日: | 2022-05-23 |
公开(公告)号: | CN115265393A | 公开(公告)日: | 2022-11-01 |
发明(设计)人: | 陈柱;魏启宇;于瀛洁;何婷婷;常林;林星羽 | 申请(专利权)人: | 上海大学 |
主分类号: | G01B11/16 | 分类号: | G01B11/16 |
代理公司: | 上海上大专利事务所(普通合伙) 31205 | 代理人: | 何文欣 |
地址: | 200444*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明公开了一种数字散斑干涉微变形测量双模式装置,通过所设计的倒T字型导轨和倒T字型轨道槽,可以根据测量要求灵活地改变测量模式。本发明所设计的分光镜底座,分光镜底座上的弹簧夹具可以保证对不同大小分光镜的夹紧,分光镜底座上的调整旋钮可以调整分光镜的上下位置以保证分光镜与其他光学零件的准直。本发明所设计的物光光纤夹持器支持架和物光光纤安装板,可以根据被测物体所放置的位置旋转物光光纤所照射的角度。本发明通过便携的双模式集成测量系统实现对待测件表面微变形进行测量,提高了测量的效率,减少了测量时间和测量误差,可通过一套系统实现物体的轮廓检测和物体表面的微变形检测。 | ||
搜索关键词: | 数字 干涉 变形 测量 双模 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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