[发明专利]一种GaAs基VECSEL激光器的衬底腐蚀方法在审
| 申请号： | 202210553081.2 | 申请日： | 2022-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN114899696A | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 王荣堃;王涵文;徐现刚 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | H01S5/02 | 分类号： | H01S5/02;H01S5/14;H01S5/183 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 张宏松 |
| 地址： | 250199 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种GaAs基VECSEL激光器的衬底腐蚀方法，本发明的方法通过特定的腐蚀液控制粗腐蚀和细腐蚀的速度，粗腐蚀的腐蚀速度快，粗腐蚀的腐蚀速率为7.33μm/min，腐蚀后表面粗糙，在显微镜下容易观察，细腐蚀的腐蚀速率放缓，细腐蚀的腐蚀速率为2μm/min，腐蚀后表面光洁，肉眼可观察到与细腐蚀表面区别，克服了现有GaAs衬底腐蚀速率慢，腐蚀效果不稳定的难题，可以快速获得表面粗糙度小，平整度高的基于VECSEL激光器GaAs外延结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 gaas vecsel 激光器 衬底 腐蚀 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山东大学，未经山东大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210553081.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
