[发明专利]一种在线检测探针状态异常和接触异常的装置和方法有效
| 申请号： | 202210549414.4 | 申请日： | 2022-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN115015817B | 公开（公告）日： | 2023-08-11 |
| 发明（设计）人： | 田川;王亚军;任孝权;刘智 | 申请（专利权）人： | 丹东富田精工机械有限公司 |
| 主分类号： | G01R35/00 | 分类号： | G01R35/00;G01D21/02 |
| 代理公司： | 沈阳天赢专利代理有限公司 21251 | 代理人： | 李鑫 |
| 地址： | 118303 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种在线检测探针状态异常和接触异常的装置，包括检测头，所述检测头的下方固接有台板，所述台板的下方设置有探针，还包括有控制器、振动检测传感器、倾斜传感器A、倾斜传感器B、侧立板、红外检测组件、电阻变送器。本发明涉及电子设备技术领域，该在线检测探针状态异常和接触异常的装置和方法，可进行探针的在线检测，用于及时发现探针的异常，如探针的竖直状态，探针是否破损，保证探针正常情况下进行对半导体的检测工作，能够保证产品的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 在线 检测 探针 状态 异常 接触 装置 方法 | ||
【主权项】：
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