[发明专利]一种在线检测探针状态异常和接触异常的装置和方法

说明书

本发明公开了一种在线检测探针状态异常和接触异常的装置，包括检测头，所述检测头的下方固接有台板，所述台板的下方设置有探针，还包括有控制器、振动检测传感器、倾斜传感器A、倾斜传感器B、侧立板、红外检测组件、电阻变送器。本发明涉及电子设备技术领域，该在线检测探针状态异常和接触异常的装置和方法，可进行探针的在线检测，用于及时发现探针的异常，如探针的竖直状态，探针是否破损，保证探针正常情况下进行对半导体的检测工作，能够保证产品的质量。

技术领域

本发明涉及电子设备技术领域，具体为一种在线检测探针状态异常和接触异常的装置和方法。

背景技术

在半导体领域，圆晶测试阶段大多使用探针，而在实际工作时，并没有相应的检测系统，没有办法在线检测，进而当出现探针异常或接触异常时，例如探针倾斜、探针断裂、探针表面携带异物等情况时，无法及时的检测出来，进而直接出现大量半导体检测失败或无检测的圆晶。

基于此问题的出现，我司研发出在线检测探针异常状态和接触异常状态的装置，可进行探针的在线检测，用于及时发现探针的异常，保证产品的质量。

发明内容

针对现有技术的不足，本发明提供了一种在线检测探针状态异常和接触异常的装置和方法，解决了探针无法在线检测探针异常的问题。

为实现上述目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种在线检测探针状态异常和接触异常的装置，包括检测头，所述检测头的下方固接有台板，所述台板的下方设置有探针，所述台板的下方侧面和后方分别固接有侧面板和后面板，还包括有；

控制器，用于控制所述检测头的推送和回缩工作；

振动检测传感器，固接在所述台板的下方、且与探针相抵触，用于检测所述探针的振动频率，与所述控制器电性连接；

倾斜传感器A，固接在所述侧面板上，用于检测所述探针是否倾斜，与所述控制器电性连接；

倾斜传感器B，固接在所述后面板上，用于检测所述探针是否倾斜，与所述控制器电性连接；

侧立板，设置在所述检测头的一侧，且与检测头平行设置、与侧面板相对设置，所述侧立板上设置有成像装置，用于采集探针的整体完整性，所述成像装置与控制器电性连接；

红外检测组件，包括相对设置的红外发送器和红外接收器，所述红外发送器固接在侧面板的内侧下方，所述红外接收器固接在侧立板的内侧下方，所述红外发送器和红外接收器与控制器电性连接。

优选的，还包括有电阻变送器，所述探针和电阻变送器的两端通过连接线分别连接有电流检测器A和电流检测器B，所述电流检测器A和电流检测器B通过连接线分别连接有对比器A和对比器B，所述对比器A和对比器B均与控制器电连接，所述控制器电连接有显示器。

优选的，所述红外发送器和红外接收器与探针的底端位于同一水平面。

一种在线检测探针状态异常和接触异常的方法，所述方法包括：

1)在探针检验完毕圆晶后回缩到原点时，振动检测传感器检测探针的振幅，当振幅过大导致异常时，停机检测探针是否破损；

2)倾斜传感器A和倾斜传感器B在两侧检测探针是否倾斜，如出现倾斜情况则停机检测探针是否破损；

3)红外发送器发送红外信号，当红外接收器接收到信号时，停机检测探针是否短缺或倾斜；

4)成像装置拍摄探针的影片，经过控制器对比后发现探针表面有异物或缺口阴影时，停机检测探针是否破损；

5)电流检测器A和电流检测器B通电采集探针和电阻变送器的电流，将采集到的电流信号传输给对比器A和对比器B，通过与预设值的对比确定探针和电阻变送器是否为正常状态，当电流异常或无电流时，控制器进行停机操作且通过显示器进行报警提示。