[发明专利]水冷套装置和单晶炉

摘要

本发明涉及一种水冷套装置和单晶炉，水冷套装置包括筒状本体，筒状本体的底部设置与筒状本体内部连通的调节套筒，调节套筒包括与筒状本体连接的第一端，和与第一端相对的第二端，从第一端到第二端，调节套筒在筒状本体的径向方向上截面的面积逐渐减小。通过调节套筒的设置，阻挡筒状本体下方热量传输到水冷套内部空间，有效阻挡热量的自下而上的散失。且调节套筒在筒状本体的径向方向上截面的面积逐渐减小，当惰性气体流从拉晶炉上方吹撒流经调节套筒时，流速变大，保证了惰性气体流与晶棒的充分接触，提高了晶棒的冷却速率，很好地调节晶棒的纵向和径向温梯，控制晶棒中缺陷的反应速率，调节缺陷分布，拉制不同类型的晶棒。