[发明专利]金刚石自支撑膜微观悬臂梁弯曲断裂力学性能的测试方法在审
| 申请号： | 202210540933.4 | 申请日： | 2022-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN114965054A | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 宋鑫;孙方宏 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01N3/08 | 分类号： | G01N3/08;G01N3/20 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 胡晶 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种金刚石自支撑膜微观悬臂梁弯曲断裂力学性能的测试装置及方法，包括：单晶硅基体表面沉积金刚石膜、化学腐蚀硅基体得到自支撑化的金刚石膜、激光切割得到悬臂梁结构。在测试过程中，首先将被测悬臂梁样品固定在位移平台上，在显微镜的观察下调节三坐标位移平台，使压头对准微悬臂梁的自由端，通过控制压电陶瓷促动器驱动压头匀速加载直至悬臂梁弯曲断裂，对加载过程中的实时位移和接触载荷数据进行记录，获得位移‑载荷曲线。本发明解决了厚度较小的化学气相沉积金刚石膜断裂力学性质的测试难题，通过获得金刚石膜的杨氏模量、断裂强度和断裂韧性等力学性质参数，进而改善金刚石膜的沉积工艺，提升其断裂强度和韧性。 | ||
| 搜索关键词： | 金刚石 支撑 微观 悬臂梁 弯曲 断裂 力学性能 测试 方法 | ||
【主权项】：
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