[发明专利]一种多量程的热式气体流量传感器在审
| 申请号： | 202210534963.4 | 申请日： | 2022-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN114838775A | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 于虹;李肖婷;张文青 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01F7/00 | 分类号： | G01F7/00;G01F1/684;G01F1/688;G01F1/69 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 任志艳 |
| 地址： | 211189 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种多量程的热式气体流量传感器结构的设计以及信号处理方法。包括带背部刻蚀空腔的单晶硅衬底、悬浮支撑膜、中心加热器、上游测量热敏元件组、下游测量热敏元件组和信号处理电路。上游测量热敏元件组和下游测量热敏元件组对称的放置在中心加热器两端，上游测量热敏元件包括上游第一测量元件和上游第二测量元件，下游测量热敏元件包括下游第一测量元件和下游第二测量元件，中心加热器和所有测量元件的热端放置在的悬浮支撑膜之上，测量元件的冷端放在悬浮支撑膜之外。本发明通过在单晶硅衬底上制备不同长度的测量元件，形成具有多量程检测功能的流量传感器，并且进一步的搭配外围控制电路，完成单芯片量程的切换。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多量 气体 流量传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东南大学，未经东南大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210534963.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
