[发明专利]一种密封机构及晶圆反应设备有效
| 申请号： | 202210531989.3 | 申请日： | 2022-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN114658863B | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 戴建波;孙文彬;陆北源 | 申请（专利权）人： | 江苏邑文微电子科技有限公司;无锡邑文电子科技有限公司 |
| 主分类号： | F16K1/00 | 分类号： | F16K1/00;F16K1/44;F16K1/46;F16K31/04;F16K31/50;F16K31/53;F16K37/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 张洋 |
| 地址： | 226400 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种密封机构及晶圆反应设备，涉及半导体技术领域。该密封机构包括门体、机架、密封组件、弹性件、丝杆、驱动组件及检测装置，门体上贯穿设置有开口，弹性件、驱动组件及检测装置均设置于机架上，密封组件通过滚珠与丝杆配合，丝杆上设置有止挡件，弹性件用于正向抵持止挡件，驱动组件与丝杆传动连接，用于驱动丝杆转动，以带动密封组件正向运动至与门体贴合以封闭开口，驱动组件还用于在密封组件与门体贴合的情况下驱动丝杆继续转动，以使丝杆带动止挡件反向运动并压缩弹性件，检测装置用于检测丝杆的位置，驱动组件还用于在检测装置检测到丝杆反向运动至预设位置时停机。本发明提供的密封机构具有更高的密封精度，密封性能更佳。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 密封 机构 反应 设备 | ||
【主权项】：
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